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Scrubber- Plasma Type

尾气处理系统 (Scrubber- Plasma Type) Gas 处理方式 : PLASMA WET 处理容量 : 300LPM Dimension(Cabinet): 800(W)X800(D)X1720(H) 高温热平衡 Plasma PFC Gas的高分解率(99%) 不使用2次热源(LNG, LPG等),高温的 Plasma ARC使用PFCs GAS 处理装置 可处理的GAS有 PFC GAS : NF3, SF6, CF4,

半导体专用等离子湿法洗涤器

把半导体、LCD、OLED、Solar Cell生产工程中产生的有毒气体,净化而排放的设备


气体处理方式PLASMA WET

处理容量300LPM

尺寸800(W)X800(D)X1720(H)


高温热平衡等离子

高效分解PFC气体 (99%)

不使用二次热源(LNG,LPG等),利用高温等离子 ARC的PFC气体处理装置


可处理

PFC气体 : NF3, SF6, CF4, C2F6, C3F8, ETC

易燃性气体 : SiH4, DCS, TEOS, H2, PH3, ETC

水溶性气体 : Cl2, HF, HCl, NH3, ETC