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Chiller- Direct Chiller

制冷机 (Chiller- Direct Chiller) 不使用Coolant, 冷媒直接和主设备进行热交换的 Chiller 通过冷媒的湿蒸机(潜热)进行热交换,保持 Wafer温度平衡 去除Coolant Line,节省用电量 (相对减少 50% ) 不使用Coolant ,节省运行成本 通过安装调节器,改善复合应答性 (改善FTT/LTT ) Coolant 消耗量为零,简化日常维护 设有关于温度, 压力, Leak的各种安全装置 (Inte

有效而稳定地调节生产半导体丶LCD及太阳能电池的主装备的周边温度


通过冷媒的湿蒸汽(潜热)热交换,体现出Wafer的温度平衡

去除冷却剂管路,节省用电量 (减少50%)

不需使用冷却剂,节省运行成本

通过接近安装调节器,改善负荷应答性 (改善FTT/LTT)

零冷冻剂消耗量,简化日常维护

设有关于温度、压力、泄漏的各种安全装置


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